行业新闻
组织机构
【组织架构】
鸣谢指导单位：（拟）
国际清洁协会
欧洲工业清洗联盟
美国机械工程师协会
中国机械工程学会
中国船舶工业行业协会
中国清洁行业标准化协会
中国石油和化学工业联合会
中国工业节能与清洁生产协会等
组织单位：
德励国际会展集团
中国宝武钢铁集团
全联冶金商会
上海市金属学会
亚洲经贸发展促进中心等
组委会执行招展单位：
励兴展览（上海）有限公司
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行业资讯：上海新阳取得酸性清洗液应用专利，可以抑制半导体晶圆的损伤
2023年11月17日消息，据国家知识产权局公告，上海新阳半导体材料股份有限公司取得一项名为“一种酸性清洗液的应用”，公开号CN117070283A，专利申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种酸性清洗液的应用。本发明的酸性清洗液用于清洗刻蚀灰化后的半导体芯片；所述的酸性清洗液的原料包括下列质量分数的组分：0.1-4％有机胺、0.1-9％酸、氟化物、缓蚀剂、螯合剂、表面活性剂和水，水补足余量，各组分质量分数之和为100％；所述的表面活性剂为磺酸盐类阴离子表面活性剂；所述的酸与所述的有机胺的质量比为(1-3):1。本发明的酸性清洗液具有如下的一个或多个优点：具有较好的清洗效果，可以抑制半导体晶圆的损伤，具有较好的BTA清除效果。